T700型多路质量流量校准仪

主要性能特点流量测量精度:全量程的±1%;����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������流量控制再现性:全量程的±0.2%;流量测量的线����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������性:全量程的±0.5%;稀����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������释气的流量范围: 0-10 SL����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������PM, 可选:0-20 SL����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������PM,0-5 SLPM。臭����� �������Ƴ����������� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������氧发生器模块 最大输出:6 ppm L/min最����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������小输出:100 ppb L/min紫外光����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������度计(选项) 满量程范围:100 ppb����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ����������� �������Ƴ������� – 10ppm,用户可调 精度:1.0 ppb����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������

  • 型号: T700
  • 品牌:

主要性能特点

  • 流量测量精度:全量程的±1%;

  • 流量控制再现性:全量程的±0.2%;

  • 流量测量的线性:全量程的±����� �������Ƴ����������� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������0.5%;

  • 稀释气的流量范围: 0-10 SLPM, 可����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������选:0-20 SLPM,0-����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������5 SLPM。

  • 臭氧发生器模块

    最大输出:6 ppm L/min最小����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������输出:100 ppb L/min

  • 紫外光度计(选项)

    满量程范围:100 ppb – 10ppm,����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������用户可调

    精度:1.0 ppb